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測定ポイント数や対象粒径、コストなどに応じて、クリーンルーム内の清浄度測定をリアルタイムで常時監視するシステムです。センサをポイントごとに設置する常時監視方式と、流路切替方式の2方式を揃えています。
各測定点にパーティクルカウンタを設置する連続監視用のシステムです。通信は Ethernet(TCP/IP)、アナログ(4-20mA)出力を選択できます。 専用ソフトウェアまたはデータロガー等でデータ管理ができます。
計測範囲: 0.2~25μm
吸引流量: 2.83・28.3L/min
用途:製薬・医療・食品・液晶業界
連続監視・多点モニタリング用センサ
計測範囲: 0.2~25μm
吸引流量: 2.83・28.3L/min
用途:製薬・医療・食品・液晶業界
連続監視・多点モニタリング用センサ
計測範囲: 0.1~10μm
吸引流量: 28.3L/min
用途:半導体・電子部品・液晶業界
連続監視・多点モニタリング用センサ
温湿度、差圧、風速アナログセンサからのデータ取り込み対応
FDA21 CFR Part11対応
パーティクルカウンタ1台で最大32ポイントを測定する切替え方式のシステムです。各測定ポイントまで長さ50mのサンプリングチューブを使用するため、センサーユニット(マニホールド)の設置場所を広範囲で検討できます。将来、測定ポイント増設または移設を行う時もチューブ長50m範囲内で容易に対応ができます。