気中パーティクルカウンタ

クリーンルーム内の埃や不純物などの微粒子を計数する計測器

パーティクルカウンタは、クリーンルームの空気清浄度を測定する微粒子計測器のひとつです。レーザー光を利用して電気信号を読み取ることで、微粒子の大きさや数を測定します。